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    產品詳情
    • 產品名稱:卷對卷PECVD石墨烯制備設備柔性透明電極連續生產

    • 產品型號:CY-OTF-1200X-III-PE300-RR
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    卷對卷PECVD石墨烯制備設備主要應用于計算機和智能手機屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發光設備和其他薄膜電子產品
    詳情介紹:

    卷對卷式PECVD是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統,設備由卷對卷銅箔收放密封裝置、1200°C三溫區管式爐、 真空機組3部分組成。此設備可用于大面積、高質量石墨烯及其他二維材料的規?;L。

    卷對卷式PECVD應用范圍:

    計算機和智能手機屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發光設備和其他薄膜電子產品領域。

    等離子體增強化學氣相沉積

    卷對卷PECVD技術參數:

    性能指標和基本配置

    產品名稱

    卷對卷式PECVD

    產品型號

    CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

    1000W等離子源

    ● 輸出功率:50-1000W*大可調±1%
    ● RF頻率: 13.56MHz,穩定性±0.005%
    ● 噪聲:≤55DB
    ● 冷卻:風冷
    ● 輸入功率:1KW  AC 220V

    三路質子流量計控制系統

    ● 電壓:AC220V/50Hz
    ● 功率:23W
    ● PLC觸摸屏控制
    ● 混氣罐尺寸:φ80*120mm
    ● 工作溫度:5~45℃
    ● *大壓力: 3x106 Pa
    ● 精度: ±1.5% FS
    ● 線性: ±(0.5-1.5)%F.S.
    ● 重復精度: ±0.2%F.S.
    ● 流量范圍:
    ● 一路: 1~50 SCCM (甲烷標定)
    ● 二路: 1~200 SCCM (氫氣標定)
    ● 三路: 1~200 SCCM (氬氣標定)
    氣體種類標定根據客戶要求可以進行其它選擇

    真空測量單元

    ● 型號:PCG-800
    ● 顯示范圍:3.8E-5 to 1125 Torr
    精度:
    ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
    ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
    ● 100 … 950 mbar % of reading ±5
    ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

    低真空機組(標配)

    ● 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器(PE材質)、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
    ● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
    ● 極限真空度10-1Pa
    ● 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa

    卷對卷銅箔收放密封裝置

    ● 采用卷對卷收放卷機構進行銅箔的移動進出料,銅箔的移動速度為1-400mm/min可調;
    ● 配置一卷測試銅箔

    ● 收放卷機構別放置于管式爐兩端真空腔體內,保證銅箔可在密封生長條件下進行運動,實現大規模制備 。
    ● 收卷機構與管式爐之間設置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。

    產品尺寸

    大約2400*800*1250mm

    產品重量

    大約720kg

    質量認證

    電器元件可選擇通過CE認證

    保修期

    一年保修,終身技術支持。
    特別提示:
    1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。


    豫公網安備 41019702002438號

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