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    產品詳情
    • 產品名稱:碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀

    • 產品型號:TN-PEC250G-HV
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理,碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀采用機械泵和分子泵,實現高真空。
    詳情介紹:

    ○ 產品介紹

    TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠實現高真空,能夠有效提高鍍膜質量。

    ○ 適用范圍

    實驗室鍍膜使用。

    ○ 技術參數

    真空腔體
     高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm
    蒸發腔體 
     高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm
    等離子濺射腔體
     高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm


     等離子濺射套件 

     濺射電壓1600V

    *大電流50mA
    靶面尺寸2英寸
    工作真空10Pa~20Pa
    工作氣氛需通入高純氬氣


    熱蒸發鍍膜套件

     蒸發源數量2個

    *大電流100A
    工作真空10^-3Pa
    工作氣氛不通入任何氣體
    樣品臺直徑φ60mm,可旋轉


     


     碳蒸發套件

     蒸發方式碳棒蒸發

    *大電流160A
    工作真空10^-3Pa
    工作氣氛不通入任何氣體
    真空系統
     產品型號TN-GZK103-A
    分子泵渦輪分子泵
    前極泵雙極旋片泵
    抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa
    旋片泵:1.1L/S
    極限真空5×10E-4Pa
    抽氣接口KF40
    排氣接口KF16
    真空測量復合真空計
    進氣系統
     配有手動微調閥,接口為1/4英寸卡套接頭
    供電要求
     AC 220V 50Hz

    ○免責聲明

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