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    產品詳情
    • 產品名稱:雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀

    • 產品型號:CY-MS500S-2TA1S
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。
    詳情介紹:

    CY-MS500S-2TA1S雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。

    設備主要由不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。

    設計特色

    1. 設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。

    2. 真空室采用下置靶設計,樣品臺具有加熱和旋轉但是功能,可以使鍍膜效果更加均勻。

    3. 設備真空獲得系統采用兩級真空泵組,前級泵為大抽速機械泵,有效縮從常壓至低真空的時間,主泵為渦輪分子泵,抽速高,真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統干凈快速。

    4. 真空腔體采用304不銹鋼制成,配有觀察窗口及擋板。造型美觀做工精細,真空性能優異。

    5. 主要密封法蘭采用 CF系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效保證鍍膜質量。

    技術參數

    磁控濺射頭

    數量

    2英寸 x2

    冷卻方式

    水冷

    蒸發系統

    蒸發源

    鎢絲籃

    *高溫度

    1500℃

    熱電偶

    S型熱電偶

     

     

    真空腔體

    腔體尺寸

    φ300mm X 300mm

    觀察窗口

    φ100mm

    腔體材料

    304不銹鋼

    開啟方式

    前開門式

    真空系統

    機械泵

    旋片泵

    抽氣接口

    KF16

    抽氣速率

    1.1L/s

     

     

    分子泵

    渦輪分子泵

    抽氣接口

    CF150

    抽氣速率

    600L/s

    排氣接口

    KF40

    真空測量

    電阻規+電離規

     

     

    極限真空

    1.3x10-4Pa

    供電電源

    AC;220V 50/60Hz

    電源配置

    直流電源數量

    1臺

    輸出功率

    ≤1000W

    輸出電壓

    ≤600W

    響應時間

    <5ms

    射頻電源數量

    1臺

    輸出功率

    ≤1000W

    功率穩定度

    ≤5W

     

     

    射頻功率

    13.56MHz

    射頻穩定度

    ±0.005%

    膜厚監控系統

    膜厚儀測量分辨率

    ±0.03Hz

    測量精度

    ±0.5%

    測量上限

    50000

    測量速度

    100~1000ms

    水冷系統

    水箱容積

    9L

    流量

    10L/min

    供氣系統

    流量計類型

    質量流量計

    量程

    200sccm

    氣體類型

    Ar氣

     

     

     

    其他

    供電電壓

    AC220V,50Hz

    整機尺寸

    1400x750x1300mm

    整機功率

    4kw(主機+真空泵)

    整機重量

    295kg

    樣品臺 

    樣式一:尺寸150mm,加熱溫度≤500℃ 控溫精度±1℃, 旋轉速度1-20r/min


    樣式二:尺寸φ150mm,高度 上下70mm精準可調,旋轉速度1~20rpm,加熱溫度 0~500℃



    豫公網安備 41019702002438號

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