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    產品詳情
    • 產品名稱:單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

    • 產品型號:
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改??蓪崿F在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
    詳情介紹:

    射頻電源

     

    輸出功率

    150W

     

    輸出精度

    ±1%

     

    射頻頻率

    13.56MHz

     

    射頻穩定度

    ±0.005%

     

    冷卻方式

    風冷

    1200溫區管式爐

    供電電壓

    AC220V,50Hz

     

    *大功率

    2KW

     

    加熱溫區

    單個溫區200mm

     

    工作溫度

    *高1200℃,連續運行溫度應≤1100℃

     

    控溫精度

    ±1℃

     

    控溫方式

    AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

    三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

     

    爐管材質

    高純石英

     

    爐管尺寸

    φ50x800mm

     

    密封方式

    真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

     

    可調轉速

    0-20rpm

     

    傾斜角度

    0-15°

     

    真空泵

    旋片機械泵

     

    極限真空度

    1.0E-1Pa

     

    進料方式

    真空漏斗加螺桿進料

    豫公網安備 41019702002438號

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